半導(dǎo)體工業(yè)中臭氧的監(jiān)測

更新日期：2025-12-24 瀏覽次數(shù)：230

應(yīng)用介紹

1.什么是臭氧和臭氧的危害。

臭氧是大氣中的微量氣體，由三個氧原子組成。主要存在于距地面10—50千米的平流層，構(gòu)成臭氧層，能阻擋紫外線，需加以保護。少部分臭氧分布在近地面，也有一定防護作用。

當臭氧達到一定濃度時，可使人呼吸加速、胸悶，如果濃度進一步提高，可引起脈搏加速、疲倦、頭痛塵散，在這樣的環(huán)境中停留1小時，會發(fā)生肺氣腫，甚至死亡。長期待在臭氧污染嚴重的環(huán)境中，對皮膚健康也可能有損傷，還可能增加致癌危險。臭氧污染還會對環(huán)境造成損害。比如，會導(dǎo)致植物葉片壞死、脫落，危害生態(tài)環(huán)境，造成農(nóng)作物減產(chǎn)等

2.臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用

在過去的幾年中，臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)的應(yīng)用越來越受到重視，特別是在品圓清洗過程。

在半導(dǎo)體行業(yè)，清潔度是一個的要求。即使是很小的污染物痕跡也會導(dǎo)致晶圓表面區(qū)域結(jié)構(gòu)的改變自80年代未以來，在芯片生產(chǎn)中采用臭氧的清潔工藝已經(jīng)被使用。隨著修改和新方法的開發(fā)，人們的興趣繼續(xù)增長。每個晶圓處理步驟都是潛在的污染源，每個步驟都有其特定類型的污染物。這意味著一個有效的清洗過程包括幾個清洗步驟，以去除晶體上的所有污染物。同時“清潔"的行業(yè)要求擴展到設(shè)備(臭氧發(fā)生器，接觸到的設(shè)備)，這意味著不會產(chǎn)生顆粒，沒有金屬，離子或有機污染物。所以在半導(dǎo)體行業(yè)中會或多或少的有臭氧氣體的揮發(fā)到空氣中。

半導(dǎo)體01.jpg

3.怎么對進行臭氧氣體監(jiān)測

在此，深圳市富安達智能科技推薦一款臭氧傳感器(O3/M-5)，該傳感器具有響應(yīng)速度快、抗干擾、分辨率高、線性度好、靈敏度高等特點。

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