新品發(fā)布丨氟化氫電化學(xué)氣體傳感器正式發(fā)布——HF/MI-10

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我們很高興地宣布推出我們的高靈敏度HF/MI-10傳感器。平均靈敏度為- 500 ± 150 nA/ppm，響應(yīng)時(shí)間快，甚至可以很容易地檢測(cè)到TWA水平范圍內(nèi)的痕跡。氟化氫是晶圓生產(chǎn)中用于蝕刻和清潔工藝的主要物質(zhì)。由于其高毒性和腐蝕性，嚴(yán)格的監(jiān)測(cè)至關(guān)重要！確保您的安全設(shè)備與HF/MI-10兼容。




氟化氫（HF）也是非常難操作的一個(gè)氣體，客戶在使用氟化氫傳感器，進(jìn)行標(biāo)定和測(cè)試過程中同樣會(huì)遇到各種各樣的奇怪問題。 富安達(dá)智能帶您，了解氟化氫這種氣體的特性，掌握使用HF傳感器的注意事項(xiàng)和技巧，各種問題就可以迎刃而解。


     1、請(qǐng)注意氟化氫傳感器的輸出電流是負(fù)的，和CO、H2S、NH3等傳感器的輸出電流相位正好相反。如果報(bào)警器或測(cè)試電路的輸出相位不正確，可能導(dǎo)致表觀上呈現(xiàn)對(duì)氟化氫不響應(yīng)的假象。


      2、通氣流量保持在1000毫升/分鐘左右。 要用聚四氟乙烯（PTFE）通氣罩通氣，流量要穩(wěn)定，標(biāo)定和隨后進(jìn)行的驗(yàn)證測(cè)試必須保持流量穩(wěn)定一致。不允許將管子直接對(duì)著傳感器吹，這樣操作氣體濃度和流速都不穩(wěn)定。


      3、必須使用腐蝕性氣體專用減壓器，即316L不銹鋼減壓器。如果使用銅質(zhì)減壓器，HF氣體會(huì)和銅發(fā)生反應(yīng)，HF濃度衰減，導(dǎo)致測(cè)不出HF。


      4、氟化氫極易溶于水形成氫氟酸，故很容易在減壓器、閥門、通氣管道、通氣罩的表面吸附、反應(yīng)，尤其是當(dāng)標(biāo)氣濃度很低時(shí)（如常用的5-10ppm），真正抵達(dá)傳感器表面的HF分子已接近零，從而嚴(yán)重影響標(biāo)定和測(cè)量結(jié)果，甚至觀察不到傳感器的響應(yīng)。這種現(xiàn)象在雨天和濕度高時(shí)尤其嚴(yán)重，因?yàn)楦叩臐穸葘?dǎo)致減壓器、閥門、通氣管道、通氣罩的表面吸附了大量水分子，這些水分子與HF作用形成氫氟酸。因此建議多通幾次氣。通常第一次通氣效果不會(huì)理想，要通氣2到3次才會(huì)得到正常的傳感器響應(yīng)。


      5、由于HF氣體分子很易吸附和作用，因此通氣管道要用聚四氟乙烯管子。 通氣系統(tǒng)要預(yù)先多通幾次HF氣體，最佳的效果是留HF氣體在整個(gè)通氣系統(tǒng)內(nèi)，浸飽一段時(shí)間（幾個(gè)小時(shí)至24小時(shí)），讓HF分子與管道壁充分作用、吸附、飽和，然后再開始進(jìn)行標(biāo)定、測(cè)量的操作。


      6、對(duì)于化學(xué)性質(zhì)活躍、易吸附的氣體如HF、Cl2、HCl、H2S、O3等，通氣系統(tǒng)的“死體積（Dead Volume）"一定要小。所謂“死體積"指從氣體鋼瓶的減壓器出口、通過流量計(jì)、連接管道、到通氣罩（包括通氣罩）之間的容積總和。 理論上通3倍死體積的氣體進(jìn)入通氣管路系統(tǒng)，且假設(shè)氣體分子不和途經(jīng)的管壁有任何吸附和作用，管路出口的氣體濃度才能達(dá)到約90%的鋼瓶?jī)?nèi)氣體濃度；如果考慮氣體分子的吸附和作用，出口處氣體濃度就更低了。因此死體積要越小越好，否則死體積太大，傳感器響應(yīng)會(huì)出現(xiàn)虛假的“滯后"現(xiàn)象，表觀上好像響應(yīng)很慢，實(shí)際上是由于標(biāo)準(zhǔn)氣先要充滿和擠出這段死體積而造成的。減小死體積的方法是盡量用管徑小的管子，管子長(zhǎng)度越短越好，通氣罩容積要盡量小并且設(shè)計(jì)合理，既能密閉氣室，又能散氣不積聚起氣壓。



綜上所述，天氣對(duì)氟化氫標(biāo)定和測(cè)定有很大影響，建議最好在干燥的晴天進(jìn)行標(biāo)定。陰雨天由于濕度大，氟化氫分子會(huì)和水作用和吸附，影響標(biāo)定結(jié)果，嚴(yán)重時(shí)甚至測(cè)不到信號(hào)。 這種現(xiàn)象南方比北方更嚴(yán)重，沿海和靠江湖地區(qū)比內(nèi)地嚴(yán)重。



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